Специалисты в Новосибирске создали импортозамещающую лазерную систему для печати шаблонов с помощью ультрафиолетового излучения при изготовлении микросхем. Разработка не имеет аналогов в России, сообщили в компании-разработчике «Оптические технологии».

При производстве микросхем фотошаблон нужен для нанесения рисунка на тонкую пластину материала. Он представляет собой тонкую пленку с рисунком, который соответствует необходимой схеме на поверхности кремниевой пластины. Более 75% всех выпускаемых сейчас фотошаблонов высокого разрешения изготавливаются именно с помощью лазерной литографии — метод нанесения изображения на поверхность материала с помощью сфокусированного лазерного луча.

«Мы импортезамещаем американские лазеры Coherent на 257 нанометров, и все оборудование и фоторезисторы заточены под эту длину волны. Аналогов в России нет, потому что это узкоспециализированные лазеры»,

Программно-аппаратный комплекс включает в себя лазер, который задает основную энергию в 10-30 милливатт, и волоконный усилитель, увеличивающий мощность лазера до 15 ватт.